項(xiàng)目

KYKY-EM8100F性能參數(shù)

分辨率

SE:1 nm(30KV); 3nm(1KV)；BSE:2.5nm(30KV)

放大倍數(shù)

15x~800,000x

電子槍類(lèi)型

肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍

加速電壓

0 ~ 30Kv

自動(dòng)調(diào)整功能

聚焦、亮度/對(duì)比度、消像散、電子束對(duì)中等

真空系統(tǒng)

2個(gè)離子泵，1個(gè)渦輪分子泵，1個(gè)機(jī)械泵

探測(cè)器

高真空二次電子探測(cè)器（具備保護(hù)探測(cè)器探頭不被碰撞的功能）

樣品臺(tái)

五軸樣品臺(tái)（X/Y自動(dòng)）

五軸自動(dòng)臺(tái)（大樣品臺(tái)）

5軸全自動(dòng)樣品臺(tái)

X

0 ~ 80mm

0 ~ 150mm

Y

0 ~ 60mm

0 ~ 150mm

Z

0 ~ 50mm

0 ~ 60mm

R

360°

360°

T

-5° ~ 90°

-5° ~ 75°

選配探測(cè)器

背散射電子探測(cè)器，X-ray能譜儀（可選）