高溫真空氣氛爐除了做實驗外，不要停留在高溫爐管區(qū)。實驗工作完畢時，若無人繼續(xù)使用，請關(guān)特殊氣體，保留N2流動， 爐管保持在standby溫度，并查看是否有其它電源該關(guān)而沒有關(guān)，如：cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它，請隨手關(guān)掉。

1、高溫真空氣氛爐處理HF時，請戴手套，如不小心碰到HF時，請立刻沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處。

2、石英玻璃制品請小心使用，以免破裂，引起嚴(yán)重割傷。

3、避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。

4、氰化鉀（KCN）不可與酸類混置，因兩者可產(chǎn)生劇毒之KCN氣體。

5、一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安全之事物時，請立即通知有關(guān)人員（技術(shù)員等）。

6、高溫真空氣氛爐請節(jié)約純水用量。

7、破晶片、濾紙、棉花棒等，請勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板漬水。

8、長短推桿之前端，在還沒使用到時，請朝上以免污染。

9、晶片進出爐口時，承接boat的holder，請勿碰觸爐管口，以免污染爐管。